双摆臂式干涉仪动镜控制器设计及实现
陶启贵, 李大成, 王安静, 李扬裕, 施海亮
Design and implementation of moving mirror controller for
double swing arm interferometer
TAO Qigui , , LI Dacheng , WANG Anjing , LI Yangyu, SHI Hailiang
量子电子学报
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2025, (3): 334
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DOI: 10.3969/j.issn.1007-5461.2025.03.005