4H-SiC表面热氧化生长SiOx薄膜特性的研究
陈厦平 朱会丽 蔡加法
Study of SiOx film grown on 4H-SiC by thermal oxidation
CHEN Xia-ping，ZHU Hui-li，CAI Jia-fa
量子电子学报 . 2010, (4): 479 -484 . 

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