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应用于极紫外光刻系统多层膜的研究进展
秦娟娟 董伟伟 周曙 游利兵 方晓东
Recent advances in multilayer coatings for EUV lithography
Qin Juanjuan, Dong Weiwei, Zhou Shu, You Libing, Fang Xiaodong
量子电子学报 . 2014, (
1
): 1 -11 .