基于动力学蒙特卡洛方法对化学气相沉积生长薄膜条件的研究

李朋，杨振雄, 赵虎

Growth conditions investigation of Cu thin-films grown by CVD using kinetic monte carlo simulation

Peng Li, Zhenxiong Yang, Hu Zhao*

量子电子学报 . 2015, (3): 364 -370 .