量子电子学报 ›› 2024, Vol. 41 ›› Issue (2): 300-309.doi: 10.3969/j.issn.1007-5461.2024.02.012
于龙昆 1, 李智祥 2,3, 温小辉 2,3, 刘辉 2,3, 谭逢富 3*
YU Longkun 1, LI Zhixiang 2, 3, WEN Xiaohui 2, 3, LIU Hui 2, 3, TAN Fengfu 3*
摘要: 为了实现快速、高精度探测器阵列标定, 对探测器阵列高精度二维标定平台控制系统进行了研究, 设计了采 用单片机控制步进电机加编码器的闭环位移控制系统。介绍了该平台的标定原理和硬、软件控制系统设计, 并对控 制PID 算法进行了研究, 最后搭建了标定系统对控制系统进行综合测试。实验结果表明该控制系统有良好的控制能 力, 平台在600 mm× 600 mm 的有效行程内定位精度可达 −11~12 μm, 十次单点测试数据变异系数为 0.13%, 连续模 式下平均测量误差为1.65%。该平台设计满足探测器阵列的标定要求, 为探测器阵列标定提供了一种有效手段。
中图分类号: