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通过优化工作气体分压提高准分子激光器脉冲能量输出
邱红松 游利兵 王庆胜 尹广玥 方晓东
Optimizing the Performance ofexcimer Laser by Modifying Active Medium Gas Partial Pressures
量子电子学报 . 2016, (
3
): 296 -300 .