通过优化工作气体分压提高准分子激光器脉冲能量输出
邱红松 游利兵 王庆胜 尹广玥 方晓东
Optimizing the Performance ofexcimer Laser by Modifying Active Medium Gas Partial Pressures
量子电子学报 . 2016, (3): 296 -300 .