通过优化工作气体分压提高准分子激光器脉冲能量输出

J4 ›› 2016, Vol. 33 ›› Issue (3): 296-300.

通过优化工作气体分压提高准分子激光器脉冲能量输出

邱红松¹,游利兵²,王庆胜¹,尹广玥³,方晓东⁴

中国科学院安徽光学精密机械研究所安徽省光子器件与材料重点实验室，安徽合肥 230031

收稿日期:2015-03-04 修回日期:2015-04-30 出版日期:2016-05-28 发布日期:2016-05-27

Optimizing the Performance ofexcimer Laser by Modifying Active Medium Gas Partial Pressures

Received:2015-03-04 Revised:2015-04-30 Published:2016-05-28 Online:2016-05-27

摘要/Abstract

摘要： 分别研究了Kr和F2对KrF准分子激光器脉冲能量输出的影响。脉冲能量输出对F2分压的变化非常敏感，并与Kr分压呈二次函数关系。在最优化工作气体分压（F2:He:Kr:Ne=3.15:59.85:195:3050mbar）下，获得了807mJ最大单脉冲输出能量。这个气体成份下的全电效率为1.64%。

Abstract: Dependence of KrF excimer laser output energy on gas partial pressures of Kr and F2 was investigated, respectively. The output energy was extremely sensitive to the partial pressure of F2 and quadratically depended on the partial pressure of Kr. Maximum output energy of 807mJ with an overall efficiency of 1.64% was achieved for the optimum gas mixture of F2:He:Kr:Ne=3.15:59.85:195:3050mbar.

Key words: buffer gas

中图分类号:

TN248

邱红松游利兵王庆胜尹广玥方晓东. 通过优化工作气体分压提高准分子激光器脉冲能量输出[J]. J4, 2016, 33(3): 296-300.

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