量子电子学报 ›› 2023, Vol. 40 ›› Issue (1): 69-78.doi: 10.3969/j.issn.1007-5461.2023.01.008
准分子激光低抖动延时同步系统
胡泽雄1,2 , 游利兵2,3,5∗ , 寸 超2 , 王宏伟 2 , 范 军2 , 王 琪4 , 张艳琳2 , 方晓东 1,2,3
- ( 1 中国科学技术大学环境科学与光电技术学院, 安徽 合肥 230026; 2 中国科学院合肥物质科学研究院安徽光学精密机械研究所, 安徽省光子器件与材料重点实验室, 安徽 合肥 230031; 3 深圳技术大学新材料与新能源学院, 广东 深圳 518118; 4 合肥工业大学电子科学与应用物理学院, 安徽 合肥 230009; 5 深圳盛方科技有限公司, 广东 深圳 518173 )
Time-delay synchronization system with low jitter for excimer laser
HU Zexiong 1,2 , YOU Libing 2,3,5∗ , CUN Chao 2 , WANG Hongwei 2 , FAN Jun 2 , WANG Qi 4 , ZHANG Yanlin 2 , FANG Xiaodong 1,2,3
- ( 1 School of Environmental Science and Optoelectronic Technology, University of Science and Technology of China, Hefei 230026, China; 2 Anhui Province Key Laboratory of Photonic Devices and Materials, Anhui Institute of Optics and Fine Mechanics, HFIPS, Chinese Academy of Sciences, Hefei 230031, China; 3 College of New Materials and New Energies, Shenzhen Technology University, Shenzhen 518118, China; 4 School of Electronic Science and Applied Physics, Hefei University of Technology, Hefei 230009, China; 5 Shenzhen Shengfang Technology Company Ltd., Shenzhen 518173, China )
摘要： 准分子激光放大技术可将固体掺钛蓝宝石飞秒激光器通过频率转换后得到的小能量深紫外飞秒脉冲放 大为大能量深紫外飞秒脉冲。为了满足准分子激光器与固体飞秒激光器之间同步工作的需要, 设计了一种准分 子激光低抖动延时同步系统。该系统采用现场可编程门阵列 (FPGA) 数字延时和可编程延时芯片延时相结合的 方法, 利用时间测量芯片实现对延时时间的闭环控制从而提高系统延时的稳定性, 最终实现对外触发脉冲信号 的精确延时。验证实验表明，该系统在 1∼100 Hz 频率下运行稳定, 输出触发脉冲信号延时范围为 56 ns∼2.4 µs, 理论延时步进为 10 ps, 抖动在 ±1 ns 内, 完全满足飞秒激光器与准分子激光器同步工作的需要。
中图分类号: