数字掩模投影光刻的极限分辨率研究
刘玉环1,3，赵圆圆2，董贤子1*，郑美玲1，段宣明1,2，赵震声1*
Limit Resolution of Digital Mask Projection Lithography
LIU Yuhuan1, 3, ZHAO Yuanyuan2, DONG Xianzi1, ZHENG Meiling1,
量子电子学报 . 2019, (3): 354 -359 . 

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